第485章 485谁要在光刻机研发道路上做绊脚石,那就是我的的敌人!(2 / 4)

作品:《重生男的青春时代

顾北八点多开车赶到申城光电所,见到了刘广义。

看到顾北突然来访,刘广义有些意外,以为他是现在项目进展程度或者是想看项目资金管理情况,就让下属去拿资料却被顾北拦住。

“刘所长,我今天来是想和你聊聊193nm波长步进扫描曝光机光源镜头间介质问题”

“你聊这个?”刘广义呀然。

聊当然可以,问题是你听的懂吗?

“昨天我和张文华聊过这个问题,他说用液体做光刻机投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片上的光刻胶之间的介质,我觉得可行。”顾北直截了当提出自己的意见。

刘广义听了却有些不高兴。

“我不知道你和张文华具体怎么聊的,但是我想说的是液体作为介质有诸多困难,包括张文华本人也明白。说实在顾总,我不建议你过于深入涉及这些专业方面的问题。”

刘广义说的很婉转,但顾北听出来了。

你一个学管理的,瞎掺和什么?

顾北笑了笑没有直接回答,突然话锋一转:“刘所长,你听说过美国cymer公司吗?”

“当然听说过,他们公司是专门研发镭射光源的,和我们光电所算是同行。”刘广义回答的很快。

“是这样,我有一个朋友叫杨卫东,宾夕法尼亚大学留学攻读博士,学的是激光物理学,现在cymer公司实习,他恰好研究的也是193nm波长步进扫描曝光机光源镜头间介质问题。”

“哦?”刘广义扶了扶眼镜,你的意思是说他也赞成用液体做介质?”

顾北点点头。

“行,等他回来,我们聊聊。”刘广义决定了。

虽然他并不赞成这个方案的,但是作为学术问题,他很乐意和同行进行深入探讨和交流。