而且搞数字电路的都知道，有了合适的数字电路芯片，哪怕没有计算机，也能玩儿出很多花活，用简单的代价，实现很多控制需求了。

对于这个制程精度，随便什么激光，其波长都是足够小了，功率也比较容易实现。

至于极紫外光刻机，那是由于光刻制程小到一定程度的需求，而且功率很难做大，这时候想那玩意完全是做梦呢。

至于亚毫米精度的光刻能不能实现，高振东还是有一定信心的，大不了请相关单位手搓几套光路系统，光源自己上就行，他可不只会红宝石激光器。

作为前世的资深军迷，他心里门儿清，东北光学所可不是吃干饭的，那是相当牛逼的一个存在。

而且原本来说，国内的集成电路其实起步并不晚，与普通人直觉反应相悖的是，我们的第一块集成电路，诞生于1965年，实用化的半自动接近式光刻机，诞生于1977年，这是一台分辨率可达~5微米的光刻机，而仿制成功8080CPU，是在1979年，比汉斯猫还早一年。

总体来说，其技术水平，大概在距离最先进的4~7年的样子，至于后来几十年怎么又混成了那个鸟样，就不得而知了。

反正总之就是，要搞集成电路，国内这个时候的条件还是基本成熟的。

高振东很快就定下了第一个目标，亚毫米级的接近式光刻机，不过具体的搞法，还是要自己仔细考虑考虑。

而且集成电路可不只光刻这一点内容，还有好多呢，好在其中大部分，可以在规划好之后，交给1274厂去搞，这个他们还是有经验和能力的，唯一麻烦的就是光刻机这个事情。

亚毫米级别的精度，决定了总体来说这个事儿能办得不错，要是想一步登天搞个拿纳米来计数的，那就得等猴年马月了。

他和吕厂长、鲁总工深入交流了一番之后，道：“吕厂长，鲁总工，这样，我好好消化一下这些材料，然后再拿出一份具体的计划来。”